???? ???????????????????????????????????????п???????????в?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????и?????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸????????????е???????????????????????????????????л?????????豸??????豸?????????д???????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????豸???????????????????????豸?????????????????????????е?????????????豸?п?????豸???????????
????
?????????????????.
????
??????????-???????????
????
????????????????????????????????????????????????????????????????????????
45000?/?
??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????...
2800?/?
??????????????_?????????????
180000?/?
??????????????
20?/?
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????1???????飺??????????????????С?????...
200000?/?
??????????????????????????
450000?/?
??????40????????????????
300?/??
???????????
800?/?
??????????|?????|??????|???????
????
?????????????
100000?/?
??????????????????????????????????????????????????????????1450??~1500??????????????????????...
????
?????????8??????????
1?/??
???????????????飩?????
50?/??
????????ī???
24800?/?
????????/RK-12-16
5500?/?
????HT-06???????????????/?????
????
???????
26800?/?
?????????????
????
?????????????????????????????????SiC??????????????????AL2O3??????????????????????????—????S???????????????????L...
1E+09?/?
?л?????????
????
???????????????????????е????????????±??洦???豸?о????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????...
????
???????????????????????????????????????????????????????κ????13673183558??????????????????????????????????????????????????????????????????????ú???????...
60?/??
???????????????????????
????
???????????????
????
????????????????? FY-Q???豸??????????????????????裬??????????????????????????????????????????????????????????綯???????????????????(mm)???????...
1?/??
????????? ?????豸?????????????(???VPSA)?????豸?????????????????????????VPSA??÷??????????????????е???????????????????????????????????????????...
88000?/?
????????????pmma????
????
??????????????GRK?????????????????豸??????ɡ????????????????????????顢???????????????????????????????С????????????豸??á???????...
120000?/?
???????????????????? ??????????????
60000?/?
С???????????嵪??????? ????????
58000?/?
???С?????pmma???? ????????豸
10000?/?
???????????????? ???????
82000?/?
??????????嵪??? ???????
60000?/?
?????????????????????豸 ???????????????3??
???????4??
???????3??
???????11??
???????11??
